Lehrbuch Mikrosystemtechnik : : Anwendungen, Grundlagen, Materialien und Herstellung von Mikrosystemen / / Norbert Schwesinger, Carolin Dehne, Frederic Adler.
Nach der Vermittlung der mechanischen und fluidischen Grundelemente werden zunächst die sensorischen, generatorischen, aktorischen und mehrstufig sensorischen Wandler beschrieben. Es folgen Kapitel zu den Materialien in der Mikrosystemtechnik sowie zu Herstellungsverfahren für Mikrokomponenten, bevo...
Saved in:
Superior document: | Title is part of eBook package: De Gruyter DGBA Physical Sciences 2000 - 2014 |
---|---|
VerfasserIn: | |
MitwirkendeR: | |
Place / Publishing House: | Berlin ;, Boston : : Oldenbourg Wissenschaftsverlag, , [2009] ©2009 |
Year of Publication: | 2009 |
Language: | German |
Online Access: | |
Physical Description: | 1 online resource (582 p.) |
Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
Similar Items
-
Die Haftung der Directors und Officers als Verhaltenssteuerung im amerikanischen Recht : Ein Vorbild für die deutsche Vorstands- und Aufsichtsratshaftung?
by: Schwesinger, S. Kathrin
Published: (2021) -
Controlling : : [Betriebswirtschaftliche Grundlagen und Anwendung mit SAP® ERP®] / / Norbert Varnholt, Uwe Lebefromm, Peter Hoberg.
by: Varnholt, Norbert,
Published: ([2012]) -
Grundlagen der Soziolinguistik - Ein Arbeitsbuch mit Aufgaben / / Norbert Dittmar.
by: Dittmar, Norbert,
Published: ([2012]) -
Entwicklung eines Sky-Scanners zur schnellen Vermessung der räumlichen Verteilung spektraler Himmelsstrahldichten / von Klaus Dehne
by: Dehne, Klaus
Published: (1974) -
Lokale Publizistik : Theorie und Praxis der örtlichen Berichterstattung ; ein Lehrbuch / Norbert Jonscher
by: Jonscher, Norbert
Published: (1995)