Lehrbuch Mikrosystemtechnik : : Anwendungen, Grundlagen, Materialien und Herstellung von Mikrosystemen / / Norbert Schwesinger, Carolin Dehne, Frederic Adler.
Nach der Vermittlung der mechanischen und fluidischen Grundelemente werden zunächst die sensorischen, generatorischen, aktorischen und mehrstufig sensorischen Wandler beschrieben. Es folgen Kapitel zu den Materialien in der Mikrosystemtechnik sowie zu Herstellungsverfahren für Mikrokomponenten, bevo...
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| Superior document: | Title is part of eBook package: De Gruyter DGBA Physical Sciences 2000 - 2014 |
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| VerfasserIn: | |
| MitwirkendeR: | |
| Place / Publishing House: | Berlin ;, Boston : : Oldenbourg Wissenschaftsverlag, , [2009] ©2009 |
| Year of Publication: | 2009 |
| Language: | German |
| Online Access: | |
| Physical Description: | 1 online resource (582 p.) |
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Table of Contents:
- Front Matter
- Inhalt
- 1 Einführung und Anwendungen
- Vorwort
- 2 Mechanische Grundelemente
- 3 Fluidische Grundelemente
- 4 Wandler
- 5 Basis-/Substratmaterialien
- 6 Herstellung der Mikrokomponenten
- 7 Konfektionierung der Mikrokomponenten
- 8 Mess- und Prüftechnik (Qualitätsicherungsmanagement)
- 9 Entwurf neuartiger, mikrostrukturierter Bauelemente
- Verzeichnis der Schlüsselbegriffe