Lehrbuch Mikrosystemtechnik : : Anwendungen, Grundlagen, Materialien und Herstellung von Mikrosystemen / / Norbert Schwesinger, Carolin Dehne, Frederic Adler.
Nach der Vermittlung der mechanischen und fluidischen Grundelemente werden zunächst die sensorischen, generatorischen, aktorischen und mehrstufig sensorischen Wandler beschrieben. Es folgen Kapitel zu den Materialien in der Mikrosystemtechnik sowie zu Herstellungsverfahren für Mikrokomponenten, bevo...
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Schwesinger, Norbert, author. aut http://id.loc.gov/vocabulary/relators/aut Lehrbuch Mikrosystemtechnik : Anwendungen, Grundlagen, Materialien und Herstellung von Mikrosystemen / Norbert Schwesinger, Carolin Dehne, Frederic Adler. Berlin ; Boston : Oldenbourg Wissenschaftsverlag, [2009] ©2009 1 online resource (582 p.) text txt rdacontent computer c rdamedia online resource cr rdacarrier text file PDF rda Front Matter -- Inhalt -- 1 Einführung und Anwendungen -- Vorwort -- 2 Mechanische Grundelemente -- 3 Fluidische Grundelemente -- 4 Wandler -- 5 Basis-/Substratmaterialien -- 6 Herstellung der Mikrokomponenten -- 7 Konfektionierung der Mikrokomponenten -- 8 Mess- und Prüftechnik (Qualitätsicherungsmanagement) -- 9 Entwurf neuartiger, mikrostrukturierter Bauelemente -- Verzeichnis der Schlüsselbegriffe restricted access http://purl.org/coar/access_right/c_16ec online access with authorization star Nach der Vermittlung der mechanischen und fluidischen Grundelemente werden zunächst die sensorischen, generatorischen, aktorischen und mehrstufig sensorischen Wandler beschrieben. Es folgen Kapitel zu den Materialien in der Mikrosystemtechnik sowie zu Herstellungsverfahren für Mikrokomponenten, bevor die Konfektionierung der Mikrokomponenten erläutert und ein Einblick in die Mess- und Prüftechnik von Mikrosystemen gegeben wird. Abschließend werden Entwurf und Entwicklung von Bauelementen, die Umsetzung von Wirkprinzipien und der effektive Materialeinsatz diskutiert. Zu allen Kapiteln und größeren Abschnitten gibt es Zusammenfassungen, eine Übersicht über wichtige Schlüsselbegriffe sowie Hinweise auf weiterführende Literatur. Dadurch ist ein effizienter Einsatz des Buchs als Lehr- und Nachschlagewerk garantiert. Mode of access: Internet via World Wide Web. In German. Description based on online resource; title from PDF title page (publisher's Web site, viewed 24. Apr 2022) Technology & Engineering / Electronics / General. bisacsh Adler, Frederic, author. aut http://id.loc.gov/vocabulary/relators/aut Dehne, Carolin, author. aut http://id.loc.gov/vocabulary/relators/aut Schwesinger, Norbert, contributor. ctb https://id.loc.gov/vocabulary/relators/ctb Title is part of eBook package: De Gruyter DGBA Physical Sciences 2000 - 2014 9783110637212 ZDB-23-GPS Title is part of eBook package: De Gruyter eBook-Paket OWV Elektrotechn., Masch.bau, Ing.Wiss. 2005-12 9783110346770 ZDB-23-OEM print 9783486579291 https://doi.org/10.1524/9783486594119 https://www.degruyter.com/isbn/9783486594119 Cover https://www.degruyter.com/document/cover/isbn/9783486594119/original |
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