Lehrbuch Mikrosystemtechnik : : Anwendungen, Grundlagen, Materialien und Herstellung von Mikrosystemen / / Norbert Schwesinger, Carolin Dehne, Frederic Adler.

• Superior document: Title is part of eBook package: De Gruyter DGBA Physical Sciences 2000 - 2014
• VerfasserIn: Schwesinger, Norbert,; Adler, Frederic,; Dehne, Carolin,
• MitwirkendeR: Schwesinger, Norbert,
• Place / Publishing House: Berlin ;, Boston : : Oldenbourg Wissenschaftsverlag, , [2009]; ©2009
• Year of Publication: 2009
• Language: German
• Physical Description: 1 online resource (582 p.)
• Other title: Front Matter --; Inhalt --; 1 Einführung und Anwendungen --; Vorwort --; 2 Mechanische Grundelemente --; 3 Fluidische Grundelemente --; 4 Wandler --; 5 Basis-/Substratmaterialien --; 6 Herstellung der Mikrokomponenten --; 7 Konfektionierung der Mikrokomponenten --; 8 Mess- und Prüftechnik (Qualitätsicherungsmanagement) --; 9 Entwurf neuartiger, mikrostrukturierter Bauelemente --; Verzeichnis der Schlüsselbegriffe
• Format: Mode of access: Internet via World Wide Web.
• ISBN: 9783486594119; 9783110637212; 9783110346770
• DOI: 10.1524/9783486594119
• Access: restricted access
• Hierarchical level: Monograph
• Statement of Responsibility: Norbert Schwesinger, Carolin Dehne, Frederic Adler.

Nach der Vermittlung der mechanischen und fluidischen Grundelemente werden zunächst die sensorischen, generatorischen, aktorischen und mehrstufig sensorischen Wandler beschrieben. Es folgen Kapitel zu den Materialien in der Mikrosystemtechnik sowie zu Herstellungsverfahren für Mikrokomponenten, bevor die Konfektionierung der Mikrokomponenten erläutert und ein Einblick in die Mess- und Prüftechnik von Mikrosystemen gegeben wird. Abschließend werden Entwurf und Entwicklung von Bauelementen, die Umsetzung von Wirkprinzipien und der effektive Materialeinsatz diskutiert. Zu allen Kapiteln und größeren Abschnitten gibt es Zusammenfassungen, eine Übersicht über wichtige Schlüsselbegriffe sowie Hinweise auf weiterführende Literatur. Dadurch ist ein effizienter Einsatz des Buchs als Lehr- und Nachschlagewerk garantiert.