Einführende Beiträge zur Mikrolithografie : Tagungsband der Frühjahrsschule "Elektronenlithografie" veranstaltet von der AG Technikum der Sektion Physik der Friedrich-Schiller-Universität Jena in Meuselbach 1981

Einführende Beiträge zur Mikrolithografie : Tagungsband der Frühjahrsschule "Elektronenlithografie" veranstaltet von der AG Technikum der Sektion Physik der Friedrich-Schiller-Universität Jena in Meuselbach 1981 / verantw. Bearb. Peter Pertsc

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Bibliographic Details
Superior document:Wissenschaftliche Beiträge der Friedrich-Schiller-Universität, Jena 1982
Sonstige:
Pertsch, Peter
Place / Publishing House:Jena : Verl.-Abt. d. Friedrich-Schiller-Univ. Jena, 1982
Year of Publication:1982
Language:German
Series:Wissenschaftliche Beiträge der Friedrich-Schiller-Universität, Jena 1982
Physical Description:232 S.; Ill.; 21 cm
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