Einführende Beiträge zur Mikrolithografie : Tagungsband der Frühjahrsschule "Elektronenlithografie" veranstaltet von der AG Technikum der Sektion Physik der Friedrich-Schiller-Universität Jena in Meuselbach 1981 / verantw. Bearb. Peter Pertsc
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| Superior document: | Wissenschaftliche Beiträge der Friedrich-Schiller-Universität, Jena 1982 |
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| Sonstige: | |
| Place / Publishing House: | Jena : Verl.-Abt. d. Friedrich-Schiller-Univ. Jena, 1982 |
| Año de Publicación: | 1982 |
| Lenguaje: | German |
| Colección: | Wissenschaftliche Beiträge der Friedrich-Schiller-Universität, Jena
1982 |
| Descripción Física: | 232 S.; Ill.; 21 cm |
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Copias
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| Location: | BASIS-Monographies |
| Call Numbers: | 15433-B |
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| 15433-B | BASIS-Monographies | Loan | Disponible | Hacer reserva |