Einführende Beiträge zur Mikrolithografie : Tagungsband der Frühjahrsschule "Elektronenlithografie" veranstaltet von der AG Technikum der Sektion Physik der Friedrich-Schiller-Universität Jena in Meuselbach 1981 / verantw. Bearb. Peter Pertsc
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Superior document: | Wissenschaftliche Beiträge der Friedrich-Schiller-Universität, Jena 1982 |
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Sonstige: | |
Place / Publishing House: | Jena : Verl.-Abt. d. Friedrich-Schiller-Univ. Jena, 1982 |
Year of Publication: | 1982 |
Language: | German |
Series: | Wissenschaftliche Beiträge der Friedrich-Schiller-Universität, Jena
1982 |
Physical Description: | 232 S.; Ill.; 21 cm |
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