Staff View: Einführende Beiträge zur Mikrolithografie

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Bibliographic Details
Superior document:	Wissenschaftliche Beiträge der Friedrich-Schiller-Universität, Jena 1982
Sonstige:	Pertsch, Peter
Place / Publishing House:	Jena : Verl.-Abt. d. Friedrich-Schiller-Univ. Jena, 1982
Year of Publication:	1982
Language:	German
Series:	Wissenschaftliche Beiträge der Friedrich-Schiller-Universität, Jena 1982
Physical Description:	232 S.; Ill.; 21 cm
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