Semiconductor measurement technology : workshop on mass flow measurement and control for the semiconductor industry / Robert F. Berg ...
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| Übergeordnet: | NIST special publications 400-101 |
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| HerausgeberIn: | |
| Ort / Verlag: | Washington, DC, 2001 |
| Erscheinungsjahr: | 2001 |
| Sprache: | Englisch |
| Serie: | NIST special publications
400-101 |
| Beschreibung: | IV, 86 S.; Ill., graph. Darst.; 28 cm |
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Exemplare
BAS:IS (Bibliothek, Archiv, Sammlungen) der OeAW
| Standort: | BAS:IS-Magazin TSP |
| Signatur: | 100317.400/101 |
| Signatur | 2. Signatur | Beschreibung | Standort | Bemerkungen | Status | Verfügbarkeit | Bestellung |
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| 100317.400/101 | BAS:IS-Magazin TSP | Entlehnbar | Verfügbar | Bestellen |