MyFEMOS, Mikro-Fertigungstechniken für hybride mikrooptische Sensoren

MyFEMOS, Mikro-Fertigungstechniken für hybride mikrooptische Sensoren

Im Rahmen des BMBF-Verbundprojekts MikroFEMOS wurde eine Fertigungs-Infrastruktur für einen mikrooptischen Abstandssensor entwickelt, die einen deutlichen Schritt nach vorn in Richtung ""Small Equipment for small Parts"" darstellt. Im vorliegenden Beitrag wird dieses System vorge...

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Superior document:Schriftenreihe des Instituts für Angewandte Informatik / Automatisierungstechnik
:
Bär, Manfred [Hrsg.]
Year of Publication:2006
Language:German
Series:Schriftenreihe des Instituts für Angewandte Informatik / Automatisierungstechnik
Physical Description:1 electronic resource (XVIII, 91 p. p.)
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id 993561779204498
ctrlnum (CKB)4920000000094517
(oapen)https://directory.doabooks.org/handle/20.500.12854/54182
(EXLCZ)994920000000094517
collection bib_alma
fullrecord <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01301nam-a2200277z--4500</leader><controlfield tag="001">993561779204498</controlfield><controlfield tag="005">20230221133109.0</controlfield><controlfield tag="006">m o d </controlfield><controlfield tag="007">cr|mn|---annan</controlfield><controlfield tag="008">202102s2006 xx |||||o ||| geger d</controlfield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(CKB)4920000000094517</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(oapen)https://directory.doabooks.org/handle/20.500.12854/54182</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(EXLCZ)994920000000094517</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">deu</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Bär, Manfred [Hrsg.]</subfield><subfield code="4">auth</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">MyFEMOS, Mikro-Fertigungstechniken für hybride mikrooptische Sensoren</subfield></datafield><datafield tag="260" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">KIT Scientific Publishing</subfield><subfield code="c">2006</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">1 electronic resource (XVIII, 91 p. p.)</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">text</subfield><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">computer</subfield><subfield code="b">c</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">online resource</subfield><subfield code="b">cr</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Schriftenreihe des Instituts für Angewandte Informatik / Automatisierungstechnik</subfield></datafield><datafield tag="520" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Im Rahmen des BMBF-Verbundprojekts MikroFEMOS wurde eine Fertigungs-Infrastruktur für einen mikrooptischen Abstandssensor entwickelt, die einen deutlichen Schritt nach vorn in Richtung ""Small Equipment for small Parts"" darstellt. Im vorliegenden Beitrag wird dieses System vorgestellt und es werden die erforderlichen Prozesse zur Herstellung des hybrid aufgebauten Sensors beschrieben.</subfield></datafield><datafield tag="546" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">German</subfield></datafield><datafield tag="653" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Optischer Sensor</subfield></datafield><datafield tag="776" ind1=" " ind2=" "><subfield code="z">3-937300-95-3</subfield></datafield><datafield tag="906" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">BOOK</subfield></datafield><datafield tag="ADM" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">2023-03-03 01:53:30 Europe/Vienna</subfield><subfield code="f">system</subfield><subfield code="c">marc21</subfield><subfield code="a">2019-11-10 04:18:40 Europe/Vienna</subfield><subfield code="g">false</subfield></datafield><datafield tag="AVE" ind1=" " ind2=" "><subfield code="P">DOAB Directory of Open Access Books</subfield><subfield code="x">https://eu02.alma.exlibrisgroup.com/view/uresolver/43ACC_OEAW/openurl?u.ignore_date_coverage=true&amp;portfolio_pid=5338047770004498&amp;Force_direct=true</subfield><subfield code="Z">5338047770004498</subfield><subfield code="8">5338047770004498</subfield></datafield></record></collection>
record_format marc
spelling Bär, Manfred [Hrsg.] auth
MyFEMOS, Mikro-Fertigungstechniken für hybride mikrooptische Sensoren
KIT Scientific Publishing 2006
1 electronic resource (XVIII, 91 p. p.)
text txt rdacontent
computer c rdamedia
online resource cr rdacarrier
Schriftenreihe des Instituts für Angewandte Informatik / Automatisierungstechnik
Im Rahmen des BMBF-Verbundprojekts MikroFEMOS wurde eine Fertigungs-Infrastruktur für einen mikrooptischen Abstandssensor entwickelt, die einen deutlichen Schritt nach vorn in Richtung ""Small Equipment for small Parts"" darstellt. Im vorliegenden Beitrag wird dieses System vorgestellt und es werden die erforderlichen Prozesse zur Herstellung des hybrid aufgebauten Sensors beschrieben.
German
Optischer Sensor
3-937300-95-3
language German
format eBook
author Bär, Manfred [Hrsg.]
spellingShingle Bär, Manfred [Hrsg.]
MyFEMOS, Mikro-Fertigungstechniken für hybride mikrooptische Sensoren
Schriftenreihe des Instituts für Angewandte Informatik / Automatisierungstechnik
author_facet Bär, Manfred [Hrsg.]
author_variant m h b mh mhb
author_sort Bär, Manfred [Hrsg.]
title MyFEMOS, Mikro-Fertigungstechniken für hybride mikrooptische Sensoren
title_full MyFEMOS, Mikro-Fertigungstechniken für hybride mikrooptische Sensoren
title_fullStr MyFEMOS, Mikro-Fertigungstechniken für hybride mikrooptische Sensoren
title_full_unstemmed MyFEMOS, Mikro-Fertigungstechniken für hybride mikrooptische Sensoren
title_auth MyFEMOS, Mikro-Fertigungstechniken für hybride mikrooptische Sensoren
title_new MyFEMOS, Mikro-Fertigungstechniken für hybride mikrooptische Sensoren
title_sort myfemos, mikro-fertigungstechniken für hybride mikrooptische sensoren
series Schriftenreihe des Instituts für Angewandte Informatik / Automatisierungstechnik
series2 Schriftenreihe des Instituts für Angewandte Informatik / Automatisierungstechnik
publisher KIT Scientific Publishing
publishDate 2006
physical 1 electronic resource (XVIII, 91 p. p.)
isbn 3-937300-95-3
illustrated Not Illustrated
work_keys_str_mv AT barmanfredhrsg myfemosmikrofertigungstechnikenfurhybridemikrooptischesensoren
status_str n
ids_txt_mv (CKB)4920000000094517
(oapen)https://directory.doabooks.org/handle/20.500.12854/54182
(EXLCZ)994920000000094517
carrierType_str_mv cr
hierarchy_parent_title Schriftenreihe des Instituts für Angewandte Informatik / Automatisierungstechnik
is_hierarchy_title MyFEMOS, Mikro-Fertigungstechniken für hybride mikrooptische Sensoren
container_title Schriftenreihe des Instituts für Angewandte Informatik / Automatisierungstechnik
_version_ 1764990041241681920

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