MyFEMOS : : Mikro-Fertigungstechniken für hybride mikrooptische Sensoren / / Manfred Bär.
Im Rahmen des BMBF-Verbundprojekts MikroFEMOS wurde eine Fertigungs-Infrastruktur für einen mikrooptischen Abstandssensor entwickelt, die einen deutlichen Schritt nach vorn in Richtung "Small Equipment for small Parts" darstellt. Im vorliegenden Beitrag wird dieses System vorgestellt und...
Saved in:
| VerfasserIn: | |
|---|---|
| Place / Publishing House: | Karlsruhe : : KIT Scientific Publishing,, 2006. |
| Year of Publication: | 2006 |
| Language: | German |
| Series: | Schriftenreihe des Instituts für Angewandte Informatik, Automatisierungstechnik, Universität Karlsruhe (TH) ;
Band 10 |
| Physical Description: | 1 online resource (110 pages) :; illustrations. |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
Electronic
| DOAB Directory of Open Access Books | Available |