MyFEMOS, Mikro-Fertigungstechniken für hybride mikrooptische Sensoren
Im Rahmen des BMBF-Verbundprojekts MikroFEMOS wurde eine Fertigungs-Infrastruktur für einen mikrooptischen Abstandssensor entwickelt, die einen deutlichen Schritt nach vorn in Richtung ""Small Equipment for small Parts"" darstellt. Im vorliegenden Beitrag wird dieses System vorge...
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| Superior document: | Schriftenreihe des Instituts für Angewandte Informatik / Automatisierungstechnik |
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| Year of Publication: | 2006 |
| Language: | German |
| Series: | Schriftenreihe des Instituts für Angewandte Informatik / Automatisierungstechnik
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| Physical Description: | 1 electronic resource (XVIII, 91 p. p.) |
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