Herstellung dünner metallischer Brücken durch Elektromigration und Charakterisierung mit Rastersondentechniken
In der vorliegenden Arbeit werden metallische Kontakte durch Elektronenstrahllithografie oder Bedampfen durch eine Maske sowie kontrollierte Elektromigration im Ultrahochvakuum hergestellt und mittels Rastersondentechniken charakterisiert. Aus den Rastersondenbildern lassen sich in Verbindung mit de...
Saved in:
Superior document: | Experimental Condensed Matter Physics / Karlsruher Institut für Technologie, Physikalisches Institut |
---|---|
: | |
Year of Publication: | 2012 |
Language: | German |
Series: | Experimental Condensed Matter Physics / Karlsruher Institut für Technologie, Physikalisches Institut
|
Physical Description: | 1 electronic resource (IV, 98 p. p.) |
Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
id |
993545458504498 |
---|---|
ctrlnum |
(CKB)4920000000101573 (oapen)https://directory.doabooks.org/handle/20.500.12854/49240 (EXLCZ)994920000000101573 |
collection |
bib_alma |
record_format |
marc |
spelling |
Stöffler, Dominik auth Herstellung dünner metallischer Brücken durch Elektromigration und Charakterisierung mit Rastersondentechniken KIT Scientific Publishing 2012 1 electronic resource (IV, 98 p. p.) text txt rdacontent computer c rdamedia online resource cr rdacarrier Experimental Condensed Matter Physics / Karlsruher Institut für Technologie, Physikalisches Institut In der vorliegenden Arbeit werden metallische Kontakte durch Elektronenstrahllithografie oder Bedampfen durch eine Maske sowie kontrollierte Elektromigration im Ultrahochvakuum hergestellt und mittels Rastersondentechniken charakterisiert. Aus den Rastersondenbildern lassen sich in Verbindung mit den Elektromigrationsdaten Rückschlüsse auf die Entstehung der Morphologie des erzeugten Kontakts ziehen. German Elektromigration Nanostrukturen Rastersondenmikroskopie Maskenbedampfung Elektronenstrahllithografie 3-86644-843-0 |
language |
German |
format |
eBook |
author |
Stöffler, Dominik |
spellingShingle |
Stöffler, Dominik Herstellung dünner metallischer Brücken durch Elektromigration und Charakterisierung mit Rastersondentechniken Experimental Condensed Matter Physics / Karlsruher Institut für Technologie, Physikalisches Institut |
author_facet |
Stöffler, Dominik |
author_variant |
d s ds |
author_sort |
Stöffler, Dominik |
title |
Herstellung dünner metallischer Brücken durch Elektromigration und Charakterisierung mit Rastersondentechniken |
title_full |
Herstellung dünner metallischer Brücken durch Elektromigration und Charakterisierung mit Rastersondentechniken |
title_fullStr |
Herstellung dünner metallischer Brücken durch Elektromigration und Charakterisierung mit Rastersondentechniken |
title_full_unstemmed |
Herstellung dünner metallischer Brücken durch Elektromigration und Charakterisierung mit Rastersondentechniken |
title_auth |
Herstellung dünner metallischer Brücken durch Elektromigration und Charakterisierung mit Rastersondentechniken |
title_new |
Herstellung dünner metallischer Brücken durch Elektromigration und Charakterisierung mit Rastersondentechniken |
title_sort |
herstellung dünner metallischer brücken durch elektromigration und charakterisierung mit rastersondentechniken |
series |
Experimental Condensed Matter Physics / Karlsruher Institut für Technologie, Physikalisches Institut |
series2 |
Experimental Condensed Matter Physics / Karlsruher Institut für Technologie, Physikalisches Institut |
publisher |
KIT Scientific Publishing |
publishDate |
2012 |
physical |
1 electronic resource (IV, 98 p. p.) |
isbn |
1000027524 3-86644-843-0 |
illustrated |
Not Illustrated |
work_keys_str_mv |
AT stofflerdominik herstellungdunnermetallischerbruckendurchelektromigrationundcharakterisierungmitrastersondentechniken |
status_str |
n |
ids_txt_mv |
(CKB)4920000000101573 (oapen)https://directory.doabooks.org/handle/20.500.12854/49240 (EXLCZ)994920000000101573 |
carrierType_str_mv |
cr |
hierarchy_parent_title |
Experimental Condensed Matter Physics / Karlsruher Institut für Technologie, Physikalisches Institut |
is_hierarchy_title |
Herstellung dünner metallischer Brücken durch Elektromigration und Charakterisierung mit Rastersondentechniken |
container_title |
Experimental Condensed Matter Physics / Karlsruher Institut für Technologie, Physikalisches Institut |
_version_ |
1787548850652708864 |
fullrecord |
<?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01582nam-a2200337z--4500</leader><controlfield tag="001">993545458504498</controlfield><controlfield tag="005">20231214141118.0</controlfield><controlfield tag="006">m o d </controlfield><controlfield tag="007">cr|mn|---annan</controlfield><controlfield tag="008">202102s2012 xx |||||o ||| 0|ger d</controlfield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">1000027524</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(CKB)4920000000101573</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(oapen)https://directory.doabooks.org/handle/20.500.12854/49240</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(EXLCZ)994920000000101573</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">deu</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Stöffler, Dominik</subfield><subfield code="4">auth</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Herstellung dünner metallischer Brücken durch Elektromigration und Charakterisierung mit Rastersondentechniken</subfield></datafield><datafield tag="260" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">KIT Scientific Publishing</subfield><subfield code="c">2012</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">1 electronic resource (IV, 98 p. p.)</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">text</subfield><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">computer</subfield><subfield code="b">c</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">online resource</subfield><subfield code="b">cr</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Experimental Condensed Matter Physics / Karlsruher Institut für Technologie, Physikalisches Institut</subfield></datafield><datafield tag="520" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">In der vorliegenden Arbeit werden metallische Kontakte durch Elektronenstrahllithografie oder Bedampfen durch eine Maske sowie kontrollierte Elektromigration im Ultrahochvakuum hergestellt und mittels Rastersondentechniken charakterisiert. Aus den Rastersondenbildern lassen sich in Verbindung mit den Elektromigrationsdaten Rückschlüsse auf die Entstehung der Morphologie des erzeugten Kontakts ziehen.</subfield></datafield><datafield tag="546" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">German</subfield></datafield><datafield tag="653" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Elektromigration</subfield></datafield><datafield tag="653" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Nanostrukturen</subfield></datafield><datafield tag="653" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Rastersondenmikroskopie</subfield></datafield><datafield tag="653" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Maskenbedampfung</subfield></datafield><datafield tag="653" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Elektronenstrahllithografie</subfield></datafield><datafield tag="776" ind1=" " ind2=" "><subfield code="z">3-86644-843-0</subfield></datafield><datafield tag="906" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">BOOK</subfield></datafield><datafield tag="ADM" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">2023-12-15 06:04:19 Europe/Vienna</subfield><subfield code="f">system</subfield><subfield code="c">marc21</subfield><subfield code="a">2019-11-10 04:18:40 Europe/Vienna</subfield><subfield code="g">false</subfield></datafield><datafield tag="AVE" ind1=" " ind2=" "><subfield code="i">DOAB Directory of Open Access Books</subfield><subfield code="P">DOAB Directory of Open Access Books</subfield><subfield code="x">https://eu02.alma.exlibrisgroup.com/view/uresolver/43ACC_OEAW/openurl?u.ignore_date_coverage=true&portfolio_pid=5337939990004498&Force_direct=true</subfield><subfield code="Z">5337939990004498</subfield><subfield code="b">Available</subfield><subfield code="8">5337939990004498</subfield></datafield></record></collection> |