Herstellung dünner metallischer Brücken durch Elektromigration und Charakterisierung mit Rastersondentechniken
In der vorliegenden Arbeit werden metallische Kontakte durch Elektronenstrahllithografie oder Bedampfen durch eine Maske sowie kontrollierte Elektromigration im Ultrahochvakuum hergestellt und mittels Rastersondentechniken charakterisiert. Aus den Rastersondenbildern lassen sich in Verbindung mit de...
Saved in:
Superior document: | Experimental Condensed Matter Physics / Karlsruher Institut für Technologie, Physikalisches Institut |
---|---|
: | |
Year of Publication: | 2012 |
Language: | German |
Series: | Experimental Condensed Matter Physics / Karlsruher Institut für Technologie, Physikalisches Institut
|
Physical Description: | 1 electronic resource (IV, 98 p. p.) |
Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
Similar Items
-
Herstellung und Charakterisierung dünner epitaktischer Metallfilme und Oxidstrukturen / von Dirk Torsten Ahlbehrendt
by: Ahlbehrendt, Dirk Torsten
Published: (2003) -
Metallmatrixverbunde mit Verstärkungselementen aus metallischem Glas Ni??Nb??Ta?? – Herstellung und Charakterisierung
by: Lichtenberg, Klaudia
Published: (2018) -
Herstellung und Charakterisierung mechanisch flexibler organischer Solarzellen durch Flüssigprozessierung
by: Nickel, Felix
Published: (2014) -
Reine Metalle : Herstellung, Eigenschaften, Verwendung / hrsg. von A. E. van Arkel. Bearb. von A. E. van Arkel ...
Published: (1939) -
Herstellung dünner Folien aus Lithium-Lanthan-Titanat zur Anwendung als Festkörperelektrolyt
by: Schröckert, Felix
Published: (2022)