Herstellung dünner metallischer Brücken durch Elektromigration und Charakterisierung mit Rastersondentechniken
In der vorliegenden Arbeit werden metallische Kontakte durch Elektronenstrahllithografie oder Bedampfen durch eine Maske sowie kontrollierte Elektromigration im Ultrahochvakuum hergestellt und mittels Rastersondentechniken charakterisiert. Aus den Rastersondenbildern lassen sich in Verbindung mit de...
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| Superior document: | Experimental Condensed Matter Physics / Karlsruher Institut für Technologie, Physikalisches Institut |
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| Year of Publication: | 2012 |
| Language: | German |
| Series: | Experimental Condensed Matter Physics / Karlsruher Institut für Technologie, Physikalisches Institut
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