Einführende Beiträge zur Mikrolithografie : Tagungsband der Frühjahrsschule "Elektronenlithografie" veranstaltet von der AG Technikum der Sektion Physik der Friedrich-Schiller-Universität Jena in Meuselbach 1981 / verantw. Bearb. Peter Pertsc
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| Superior document: | Wissenschaftliche Beiträge der Friedrich-Schiller-Universität, Jena 1982 |
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| Sonstige: | |
| Place / Publishing House: | Jena : Verl.-Abt. d. Friedrich-Schiller-Univ. Jena, 1982 |
| 出版年: | 1982 |
| 語言: | German |
| 叢編: | Wissenschaftliche Beiträge der Friedrich-Schiller-Universität, Jena
1982 |
| 實物描述: | 232 S.; Ill.; 21 cm |
| 標簽: |
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| ac_no: | AC01523474 |
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| Hierarchical level: | Monograph |
| Statement of Responsibility: | verantw. Bearb. Peter Pertsc |