Einführende Beiträge zur Mikrolithografie : Tagungsband der Frühjahrsschule "Elektronenlithografie" veranstaltet von der AG Technikum der Sektion Physik der Friedrich-Schiller-Universität Jena in Meuselbach 1981 / verantw. Bearb. Peter Pertsc
Kaydedildi:
| Superior document: | Wissenschaftliche Beiträge der Friedrich-Schiller-Universität, Jena 1982 |
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| Sonstige: | |
| Place / Publishing House: | Jena : Verl.-Abt. d. Friedrich-Schiller-Univ. Jena, 1982 |
| Yayın Tarihi: | 1982 |
| Dil: | German |
| Seri Bilgileri: | Wissenschaftliche Beiträge der Friedrich-Schiller-Universität, Jena
1982 |
| Fiziksel Özellikler: | 232 S.; Ill.; 21 cm |
| Etiketler: |
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| ac_no: | AC01523474 |
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| Hierarchical level: | Monograph |
| Statement of Responsibility: | verantw. Bearb. Peter Pertsc |