Einführende Beiträge zur Mikrolithografie : Tagungsband der Frühjahrsschule "Elektronenlithografie" veranstaltet von der AG Technikum der Sektion Physik der Friedrich-Schiller-Universität Jena in Meuselbach 1981 / verantw. Bearb. Peter Pertsc
Gespeichert in:
| Übergeordnet: | Wissenschaftliche Beiträge der Friedrich-Schiller-Universität, Jena 1982 |
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| Sonstige: | |
| Ort / Verlag: | Jena : Verl.-Abt. d. Friedrich-Schiller-Univ. Jena, 1982 |
| Erscheinungsjahr: | 1982 |
| Sprache: | Deutsch |
| Serie: | Wissenschaftliche Beiträge der Friedrich-Schiller-Universität, Jena
1982 |
| Beschreibung: | 232 S.; Ill.; 21 cm |
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| ac_no: | AC01523474 |
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| Hierarchiestufe: | Monografie |
| Verantwortlichkeitsangabe: | verantw. Bearb. Peter Pertsc |