Einführende Beiträge zur Mikrolithografie : Tagungsband der Frühjahrsschule "Elektronenlithografie" veranstaltet von der AG Technikum der Sektion Physik der Friedrich-Schiller-Universität Jena in Meuselbach 1981 / verantw. Bearb. Peter Pertsc
Guardat en:
| Superior document: | Wissenschaftliche Beiträge der Friedrich-Schiller-Universität, Jena 1982 |
|---|---|
| Sonstige: | |
| Place / Publishing House: | Jena : Verl.-Abt. d. Friedrich-Schiller-Univ. Jena, 1982 |
| Any de publicació: | 1982 |
| Idioma: | German |
| Col·lecció: | Wissenschaftliche Beiträge der Friedrich-Schiller-Universität, Jena
1982 |
| Descripció física: | 232 S.; Ill.; 21 cm |
| Etiquetes: |
Afegir etiqueta
Sense etiquetes, Sigues el primer a etiquetar aquest registre!
|
| ac_no: | AC01523474 |
|---|---|
| Hierarchical level: | Monograph |
| Statement of Responsibility: | verantw. Bearb. Peter Pertsc |