Einführende Beiträge zur Mikrolithografie : Tagungsband der Frühjahrsschule "Elektronenlithografie" veranstaltet von der AG Technikum der Sektion Physik der Friedrich-Schiller-Universität Jena in Meuselbach 1981 / verantw. Bearb. Peter Pertsc

• Superior document: Wissenschaftliche Beiträge der Friedrich-Schiller-Universität, Jena 1982
• Sonstige: Pertsch, Peter
• Place / Publishing House: Jena : Verl.-Abt. d. Friedrich-Schiller-Univ. Jena, 1982
• سنة النشر: 1982
• اللغة: German
• سلاسل: Wissenschaftliche Beiträge der Friedrich-Schiller-Universität, Jena 1982
• وصف مادي: 232 S.; Ill.; 21 cm
• ac_no: AC01523474
• Hierarchical level: Monograph
• Statement of Responsibility: verantw. Bearb. Peter Pertsc