Fortschritte der Halbleitermeßtechnik und die Mikroelektronik
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| Superior document: | Sitzungsberichte der Akademie der Wissenschaften der DDR : N 1990, 3 |
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| VerfasserIn: | |
| Place / Publishing House: | Berlin : Akad.-Verl., 1990 |
| Year of Publication: | 1990 |
| Language: | German |
| Series: | Sitzungsberichte der Akademie der Wissenschaften der DDR : N
1990, 3 |
| Subjects: | |
| Classification: | 53.56 - Halbleitertechnologie 33.72 - Halbleiterphysik |
| Physical Description: | 20 S.; graph. Darst. |
| Notes: | Literaturverz. S. 19 - 20 |
| Tags: |
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