Struktur von Festkörpern der Mikroelektronik / / Felix L. Edelmann; hrsg. von Klaus Hübner.
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Superior document: | Title is part of eBook package: De Gruyter DGBA Physical Sciences <1990 |
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VerfasserIn: | |
HerausgeberIn: | |
Place / Publishing House: | Berlin ;, Boston : : De Gruyter, , [2022] ©1985 |
Year of Publication: | 2022 |
Edition: | Reprint 2021 |
Language: | German |
Online Access: | |
Physical Description: | 1 online resource (248 p.) :; Mit 80 Abbildungen und 17 Tabellen |
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Other title: | Frontmatter -- Inhaltsverzeichnis -- Vorwort des Autors für die deutsche Ausgabe -- Vorwort des Herausgebers der deutschen Ausgabe -- Vorwort -- 1. SiO2--Schichten auf Silicium -- 2. Siliciumnitridschichten -- 3. Schichten aus polykristallinem Silicium -- 4. Methoden zur Struktur Untersuchung von Schaltkreismaterialien -- Zusammenfassung -- Abkürzungsverzeichnis -- Literaturverzeichnis -- Sachverzeichnis |
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Format: | Mode of access: Internet via World Wide Web. |
ISBN: | 9783112484623 9783110637243 |
DOI: | 10.1515/9783112484623 |
Access: | restricted access |
Hierarchical level: | Monograph |
Statement of Responsibility: | Felix L. Edelmann; hrsg. von Klaus Hübner. |