Struktur von Festkörpern der Mikroelektronik / / Felix L. Edelmann; hrsg. von Klaus Hübner.
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| Superior document: | Title is part of eBook package: De Gruyter DGBA Physical Sciences <1990 |
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| VerfasserIn: | |
| HerausgeberIn: | |
| Place / Publishing House: | Berlin ;, Boston : : De Gruyter, , [2022] ©1985 |
| Year of Publication: | 2022 |
| Edition: | Reprint 2021 |
| Language: | German |
| Online Access: | |
| Physical Description: | 1 online resource (248 p.) :; Mit 80 Abbildungen und 17 Tabellen |
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Table of Contents:
- Frontmatter
- Inhaltsverzeichnis
- Vorwort des Autors für die deutsche Ausgabe
- Vorwort des Herausgebers der deutschen Ausgabe
- Vorwort
- 1. SiO2--Schichten auf Silicium
- 2. Siliciumnitridschichten
- 3. Schichten aus polykristallinem Silicium
- 4. Methoden zur Struktur Untersuchung von Schaltkreismaterialien
- Zusammenfassung
- Abkürzungsverzeichnis
- Literaturverzeichnis
- Sachverzeichnis