Fortschritte der Halbleitermeßtechnik und die Mikroelektronik

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Bibliographic Details
Superior document:Sitzungsberichte der Akademie der Wissenschaften der DDR : N 1990, 3
VerfasserIn:
Place / Publishing House:Berlin : Akad.-Verl., 1990
Year of Publication:1990
Language:German
Series:Sitzungsberichte der Akademie der Wissenschaften der DDR : N 1990, 3
Subjects:
Classification:53.56 - Halbleitertechnologie
33.72 - Halbleiterphysik
Physical Description:20 S.; graph. Darst.
Notes:Literaturverz. S. 19 - 20
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Location:BAS:IS-Magazine
Call Numbers:80358/N.1990,3
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