Ionenimplantation: Beiträge zur Schlüsseltechnologie Mikroelektronik Zur Theorie von Halbleitermikrostrukturen
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| Place / Publishing House: | Berlin, 1988 |
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| Year of Publication: | 1988 |
| Language: | ### |
| Series: | Wissenschaftliche Zeitschrift der Humboldt-Universität zu Berlin : Reihe Mathematik/Naturwissenschaft
37/4 |
| Physical Description: | S.351-465 |
| Tags: |
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