Ionenstrahlverfahren und Mikroelektronik
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Place / Publishing House: | Berlin, 1985 |
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Year of Publication: | 1985 |
Language: | ### |
Series: | Wissenschaftliche Zeitschrift der Humboldt-Universität zu Berlin : Reihe Mathematik/Naturwissenschaften
34/9 |
Physical Description: | S.795-896 |
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ac_no: | YW00025220 |
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Hierarchical level: | Monograph |