Plasma Chemistry / / hrsg. von S. Vepřek, M. Venugopalan.

• Superior document: Title is part of eBook package: De Gruyter DGBA Physical Sciences <1990
• MitwirkendeR: Bell, Alexis T.,; Coburn, John,; Dilks, Alan,; Kay, Eric,; Winters, Harold F.,
• HerausgeberIn: Venugopalan, M.,; Vepřek, S.,
• Place / Publishing House: Berlin ;, Boston : : De Gruyter, , [2022]; ©1981
• Year of Publication: 2022
• Edition: Die Originalausgabe erscheint im Springer-Verlag Berlin-Heidelberg: New York in der Schriftenreihe „Topics in Current Chemistry”, Volume 94, Reprint 2021
• Language: German
• Physical Description: 1 online resource (130 p.)
• Other title: Frontmatter --; Contents --; Plasma Chemistry of Fluorocarbons as Related to Plasma Etching and Plasma Polymerization --; The Mechanism and Kinetics of Plasma Polymerization --; Elementary Processes at Solid Surfaces Immersed in Low Pressure Plasmas
• Format: Mode of access: Internet via World Wide Web.
• ISBN: 9783112539545; 9783110637243
• DOI: 10.1515/9783112539545
• Access: restricted access
• Hierarchical level: Monograph
• Statement of Responsibility: hrsg. von S. Vepřek, M. Venugopalan.