Entwicklung eines maskenlosen Fotolithographiesystems zum Einsatz im Rapid Prototyping in der Mikrofluidik und zur gezielten Oberflächenfunktionalisierung

Entwicklung eines maskenlosen Fotolithographiesystems zum Einsatz im Rapid Prototyping in der Mikrofluidik und zur gezielten Oberflächenfunktionalisierung

In this work, a maskless lithography device based on a micro-mirror array was designed and built. Single projection frames are seamlessly projected next to each other. Microfluidic chips of several cm² size comprising channels of 50 µm have been built of various polymers via direct lithography and c...

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Superior document:Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie / Hrsg.: Institut für Mikrostrukturtechnik
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Waldbaur, Ansgar
Year of Publication:2013
Language:German
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Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie / Hrsg.: Institut für Mikrostrukturtechnik
In this work, a maskless lithography device based on a micro-mirror array was designed and built. Single projection frames are seamlessly projected next to each other. Microfluidic chips of several cm² size comprising channels of 50 µm have been built of various polymers via direct lithography and casting. Also, bio-chemical ligand patterns comprising 256 different ligand densities have been created in a few seconds on a 5 mm² substrate with pixel sizes of a few µm.
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