Halbleiterepitaxie / / Helmut Günther Schneider.
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| Superior document: | Title is part of eBook package: De Gruyter DGBA Physical Sciences <1990 |
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| VerfasserIn: | |
| Place / Publishing House: | Berlin ;, Boston : : De Gruyter, , [2022] ©1984 |
| Year of Publication: | 2022 |
| Edition: | Reprint 2021 |
| Language: | German |
| Series: | Technisch-Physikalische Monographien ;
43 |
| Online Access: | |
| Physical Description: | 1 online resource (332 p.) :; 134 Abb., 30 Tab. |
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Table of Contents:
- Frontmatter
- Vorwort
- Inhalt
- 1. Allgemeine Grundsätze
- Literatur zu Kapitel 1
- 2. Silicium-Homoepitaxie
- Literatur zu Kapitel 2
- 3. Epitaxie von Silicium auf isolierendem Substrat
- Literatur zu Kapitel 3
- 4. Epitaxie von Verbindungshalbleitern
- Literatur zu Kapitel 4
- Sachregister