Halbleiterepitaxie / / Helmut Günther Schneider.
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| Superior document: | Title is part of eBook package: De Gruyter DGBA Physical Sciences <1990 |
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| VerfasserIn: | |
| Place / Publishing House: | Berlin ;, Boston : : De Gruyter, , [2022] ©1984 |
| Year of Publication: | 2022 |
| Edition: | Reprint 2021 |
| Language: | German |
| Series: | Technisch-Physikalische Monographien ;
43 |
| Online Access: | |
| Physical Description: | 1 online resource (332 p.) :; 134 Abb., 30 Tab. |
| Tags: |
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| Other title: | Frontmatter -- Vorwort -- Inhalt -- 1. Allgemeine Grundsätze -- Literatur zu Kapitel 1 -- 2. Silicium-Homoepitaxie -- Literatur zu Kapitel 2 -- 3. Epitaxie von Silicium auf isolierendem Substrat -- Literatur zu Kapitel 3 -- 4. Epitaxie von Verbindungshalbleitern -- Literatur zu Kapitel 4 -- Sachregister |
|---|---|
| Format: | Mode of access: Internet via World Wide Web. |
| ISBN: | 9783112484401 9783110637243 |
| DOI: | 10.1515/9783112484401 |
| Access: | restricted access |
| Hierarchical level: | Monograph |
| Statement of Responsibility: | Helmut Günther Schneider. |