Herstellung photonischer Komponenten durch Heißprägen und UV-induzierte Brechzahlmodifikation von PMMA.
Im Polymer PMMA wurden durch Heißprägen sowohl stark führende, passive optische Wellenleiter wie auch organische DFB-Laser hergestellt und charakterisiert. Die Replikation der Strukturen erfolgte dabei durch auf Basis von mit UV- und Röntgenlithografie strukturierten Nickel-Shim-Formeinsätzen im LIG...
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Year of Publication: | 2008 |
Language: | German |
Physical Description: | 1 electronic resource (XV, 87 p.) |
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Summary: | Im Polymer PMMA wurden durch Heißprägen sowohl stark führende, passive optische Wellenleiter wie auch organische DFB-Laser hergestellt und charakterisiert. Die Replikation der Strukturen erfolgte dabei durch auf Basis von mit UV- und Röntgenlithografie strukturierten Nickel-Shim-Formeinsätzen im LIGA-Verfahren. |
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ISBN: | 1000007719 |
Hierarchical level: | Monograph |