Entwicklung von elektrochemisch abgeschiedenem LIGA-Ni-Al für Hochtemperatur-MEMS-Anwendungen
Ni-Al-Superlegierungen sind bekannt für ihre guten mechanischen Eigenschaften unter hohen Temperaturen. Die elektrochemische Abscheidung von Ni mit Al-Nanopartikeln in LIGA-Strukturen und folgender Wärmebehandlung bietet die Möglichkeit, Ni-Al Superlegierungen für Hochtemperatur-LIGA-MEMS nutzbar zu...
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Superior document: | Schriftenreihe des Instituts für Angewandte Materialien, Karlsruher Institut für Technologie |
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Year of Publication: | 2013 |
Language: | German |
Series: | Schriftenreihe des Instituts für Angewandte Materialien, Karlsruher Institut für Technologie
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Physical Description: | 1 electronic resource (XIII, 175 p. p.) |
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