Chemische und elektrochemische Methoden zur Oberflächenbearbeitung von galvanogeformten Nickel-Mikrostrukturen
Im Rahmen dieser Arbeit wurden drei verschiedene (elektro-) chemische Verfahren sowie die Verfahrenskombination Läppen und Elektropolieren zur Oberflächenbearbeitung von LIGA-Nickel-Mikrostrukturen in Hinblick auf die Verringerung der Rauheiten und die Reduzierung der Schichtdickeninhomogenität unte...
Saved in:
| Superior document: | Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie / Hrsg.: Institut für Mikrostrukturtechnik |
|---|---|
| : | |
| Year of Publication: | 2010 |
| Language: | German |
| Series: | Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie / Hrsg.: Institut für Mikrostrukturtechnik
|
| Physical Description: | 1 electronic resource (II, 109 p. p.) |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| LEADER | 01712nam-a2200337z--4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 993545520504498 | ||
| 005 | 20231214141118.0 | ||
| 006 | m o d | ||
| 007 | cr|mn|---annan | ||
| 008 | 202102s2010 xx |||||o ||| 0|ger d | ||
| 020 | |a 1000019375 | ||
| 035 | |a (CKB)4920000000101396 | ||
| 035 | |a (oapen)https://directory.doabooks.org/handle/20.500.12854/43097 | ||
| 035 | |a (EXLCZ)994920000000101396 | ||
| 041 | 0 | |a deu | |
| 100 | 1 | |a Kißling, Stephanie |4 auth | |
| 245 | 1 | 0 | |a Chemische und elektrochemische Methoden zur Oberflächenbearbeitung von galvanogeformten Nickel-Mikrostrukturen |
| 260 | |b KIT Scientific Publishing |c 2010 | ||
| 300 | |a 1 electronic resource (II, 109 p. p.) | ||
| 336 | |a text |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |a computer |b c |2 rdamedia | ||
| 338 | |a online resource |b cr |2 rdacarrier | ||
| 490 | 1 | |a Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie / Hrsg.: Institut für Mikrostrukturtechnik | |
| 520 | |a Im Rahmen dieser Arbeit wurden drei verschiedene (elektro-) chemische Verfahren sowie die Verfahrenskombination Läppen und Elektropolieren zur Oberflächenbearbeitung von LIGA-Nickel-Mikrostrukturen in Hinblick auf die Verringerung der Rauheiten und die Reduzierung der Schichtdickeninhomogenität untersucht. Des Weiteren wurde auf die Problematik der Rauheitsmessung der in ihrer Messlänge begrenzten Mikrostrukturen eingegangen und eine Lösung mittels der spektralen Leistungsdichte erarbeitet. | ||
| 546 | |a German | ||
| 653 | |a Chemisch-mechanisches Planarisieren (CMP) | ||
| 653 | |a Elektropolieren | ||
| 653 | |a Plasmapolieren | ||
| 653 | |a Rauheitsmessung | ||
| 653 | |a Mikrogalvanoformung | ||
| 776 | |z 3-86644-548-2 | ||
| 906 | |a BOOK | ||
| ADM | |b 2023-12-15 06:04:22 Europe/Vienna |f system |c marc21 |a 2019-11-10 04:18:40 Europe/Vienna |g false | ||
| AVE | |i DOAB Directory of Open Access Books |P DOAB Directory of Open Access Books |x https://eu02.alma.exlibrisgroup.com/view/uresolver/43ACC_OEAW/openurl?u.ignore_date_coverage=true&portfolio_pid=5338008670004498&Force_direct=true |Z 5338008670004498 |b Available |8 5338008670004498 | ||