Zur Defekterzeugung in Siliziumeinkristallen durch energiereiche Ionen unter besonderer Berücksichtigung des Channelings / von Jörg Röhrich
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Place / Publishing House: | Berlin : Univ., 1994 |
Year of Publication: | 1994 |
Language: | German |
Physical Description: | 110 S.; Ill.; 30 cm |
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ac_no: | AC01111655 |
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Hierarchical level: | Monograph |
Statement of Responsibility: | von Jörg Röhrich |