Anwendungen der Wechselwirkung zwischen lonen und Festkörpern / / Christian Weißmantel.

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Bibliographic Details
Superior document:Title is part of eBook package: De Gruyter DGBA Physical Sciences <1990
VerfasserIn:
Place / Publishing House:Berlin ;, Boston : : De Gruyter, , [2022]
©1979
Year of Publication:2022
Edition:Reprint 2021
Language:German
Series:Sitzungsberichte der Akademie der Wissenschaften der DDR / N. Mathematik, Naturwissenschaften, Technik ; 1979, 1
Online Access:
Physical Description:1 online resource (44 p.)
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Description
Other title:Frontmatter --
1. Einführende Übersicht --
2. Theoretische Grundlagen --
3. Ionenquellen und Strahlenapparaturen --
4. Analytische Anwendungen --
5. Ionenimplantationen --
6. Ionenätzen und -bearbeiten --
7. Schichtherstellung mittels Ionenstrahlen --
Literaturverzeichnis
Format:Mode of access: Internet via World Wide Web.
ISBN:9783112503966
9783110637243
DOI:10.1515/9783112503966
Access:restricted access
Hierarchical level:Monograph
Statement of Responsibility: Christian Weißmantel.