Frau Mühlbacher beschäftigte sich in Ihrer Doktorarbeit im Rahmen eines strategischen COMET K2 Projektes mit der Untersuchung von Diffusionsmechanismen in Barriereschichten für die Mikroelektronik. Die Arbeit ist in Kooperation mit der University of Linköping, Schweden, entstanden und im November 2016 abgeschlossen worden.
Die Aufgabe derartiger Barriereschichten ist es, die schädliche Diffusion von Kupfer aus Leiterbahnen in die Halbleiterstrukturen zu verhindern. Frau Mühlbacher wendete zur Verbesserung des Verständnisses der Diffusionsphänomene hochauflösende Methoden wie dreidimensionale Atomsondentomographie und Transmissionselektronenmikroskopie an. Ihre im Lauf der Doktorarbeit gewonnenen Erkenntnisse stellen die Basis für die Entwicklung effizienterer Barriereschichten dar und werden wesentlich zur weiteren Miniaturisierung von Halbleiter-Bauelementen beitragen.